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各類型微操
LN Mini Unit

LN Mini Unit 由LN單元MRE、MLE和B2MS組成。LNscope和附件組成了該系統(tǒng)。單獨的LN Mini Unit 安裝在不銹鋼柱子的頂部,帶有旋轉(zhuǎn)適配器,便于接觸到電極。

LN unit consists由三個Mini軸組成,使用適配器固定,形成一個完整的裝置。該裝置的設計結(jié)合了靈活性、穩(wěn)定性、高分辨率和無漂移的體驗。

X軸的貼片角度可以連續(xù)調(diào)整。所有的機械部件都配備了接地點。該裝置可使用轉(zhuǎn)彎適配器、背折適配器或快速交換系統(tǒng)。

這種精確而可靠的機械手發(fā)明于1993年,由于我們的服務政策,第一代系統(tǒng)仍然在世界各地的實驗室中使用。在光學系統(tǒng)周圍最多可以安裝8個機械手。


規(guī)格:


XYZ方向行程:25nm


電機分辨率:4.8nm


重現(xiàn)性:小于1微米


重量(整機):2.2公斤


主軸導程:0.5 mm


最小可重現(xiàn)步長:20nm



新的Mini有修改過的Mini Compact Y軸和Z軸,移動范圍為25毫米。這不僅增加了堅固性,而且由于增加了兩個T型槽而增加了靈活性。

https://www.luigs-neumann.org/mini






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